項目概況

項目名稱：濺射鍍膜儀設(shè)備??????項目編號：ZC-YTHC-2026-0004

******有限公司

截標/開標時間：2026-04-03 10:00:00

公告內(nèi)容

濺射鍍膜儀設(shè)備采購公告

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******有限公司科技創(chuàng)新中心就濺射鍍膜儀設(shè)備采購項目進行公開詢價采購，邀請各單位參加本項目采購活動。

一、采購編號：濺射鍍膜儀設(shè)備?YTZC-****** ?????????

二、采購內(nèi)容及要求

1、采購預(yù)算限價(最高限價）：5.5萬元（含稅）。

2、采購范圍：本次采購1套濺射鍍膜儀設(shè)備，主要包括主機、真空系統(tǒng)、濺射電源及樣品臺等核心部件，支持Au/Pt/Ag/Cu/Pd等多種靶材，標配至少1片貴金屬靶材（Pt/Au），主要功能為掃描電鏡成像非導(dǎo)電樣品鍍膜。

3、采購要求：

?（1）真空系統(tǒng)

? 真空泵類型：旋片式真空泵（雙級直連/高性能旋片泵均可）

? 抽氣速率：≥4 m³/h（≥1 L/s）

? 極限真空度：≤1 Pa

? 工作壓強：1-20 Pa

（2）濺射系統(tǒng)

? 鍍膜方式：磁控濺射鍍膜

?濺射電流：1-50 mA 連續(xù)可調(diào)，控制精度≤1 mA

?濺射時間：0-9999s連續(xù)可調(diào)，控制精度≤1s

?工作氣體：高純氬氣（純度≥99.99%），支持氮氣/空氣選配，氣體接口為4mm鎖緊接口

? 放氣功能：具備自動放氣功能

（3）靶材系統(tǒng)

? 靶材直徑：φ30-60?mm（支持中50mm標準靶材）

? 靶材厚度：0.1-1mm（支持0.1-2mm厚度）

? 靶材種類：支持Au/Pt/Ag/Cu/Pd等多種靶材，標配至少1片貴金屬靶材（Pt/Au）

（4）樣品室與樣品臺

? 腔體材質(zhì)：石英/高強度玻璃腔體

?腔體尺寸：外徑≥φ120mm，高度≥100mm

?樣品臺直徑：φ60-80mm，可兼容SEM標準樣品臺

?樣品臺功能：支持旋轉(zhuǎn)（0-60 RPM可調(diào)）、升降（工作距離20-70mm可調(diào)）

（5）控制與操作

?控制方式：微處理器/觸摸屏程序控制

?操作界面：支持實時參數(shù)顯示與調(diào)整，操作便捷

（6）電氣與物理參數(shù)

? 輸入電源：100-240 V AC，50/60 Hz（兼容220V標準供電）

（7）質(zhì)保與服務(wù)

? 質(zhì)保期：≥1年原廠質(zhì)保

?標準配置：含主機、真空泵、標配靶材、電源線、密封圈等耗材備件

?文檔資料：提供操作說明書、維護指南、合格證明等技術(shù)資料

4、供貨期：30天。

5、項目實施地點：浙江省杭州市西湖區(qū)三墩鎮(zhèn)金蓬街372號

6、質(zhì)保期要求：?

6、結(jié)算方式：

三、供應(yīng)商資格要求

1、供應(yīng)商應(yīng)依法設(shè)立且滿足如下要求：

（1）中華人民共和國境內(nèi)注冊的企業(yè)法人(需提供有效營業(yè)執(zhí)照復(fù)印件并加蓋公章）；

2、供應(yīng)商不得存在下列情形之一：

（1）在“中國政府采購網(wǎng)”（******）中被列入政府采購嚴重違法失信行為記錄名單；

（2）在“信用中國”（******）中被列入嚴重失信主體名單；

（3******集團供應(yīng)商誠信檔案，處于禁止投標處罰期內(nèi)；

（4）不同響應(yīng)人的單位負責(zé)人為同一人或者存在直接控股、管理關(guān)系的。

3、本次采購不接受聯(lián)合體響應(yīng)。

四、供應(yīng)商所需提交的材料

1、商務(wù)技術(shù)響應(yīng)文件（見附件2）；

2、報價響應(yīng)文件（見附件3）。

五、評審辦法

評審方法：經(jīng)評審的最低價法，按含稅總報價進行評審（若最低總報價相同，則相同供應(yīng)商進行二次報價）。

六、響應(yīng)文件及遞交：紙質(zhì)響應(yīng)文件正本一份、副本兩份，密封包裝，封套上應(yīng)載明項目名稱、采購編號、供應(yīng)商名稱

響應(yīng)文件遞交截止時間為 2026年3月25日9時00分，請有意向供應(yīng)商在截止時間前將響應(yīng)文件遞交給采購單位聯(lián)系人。

七、評審時間和地點：評審時間同響應(yīng)文件遞交截止時間，地點為******有限公司。本次評審為非公開，不邀請各供應(yīng)商參加，采購監(jiān)督人員現(xiàn)場監(jiān)督。

八、聯(lián)系方式

1、采購單位：******有限公司科技創(chuàng)新中心

聯(lián)系人：查女士? ????????聯(lián)系電話：******

2、組織單位：******有限公司科技創(chuàng)新中心

聯(lián)系人：查女士???????????聯(lián)系電話：******

郵寄地址：浙江省杭州市西湖區(qū)三墩鎮(zhèn)金蓬街372號

3、監(jiān)督部門：******有限公司內(nèi)審風(fēng)控部 ?

聯(lián)系人：何聰 ????????????電話： 0571-******

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******有限公司

?2026年3月30日